La précision d'usinage des machines-outils de découpe de métaux CNC a été améliorée du niveau de fil d'origine (0,01 mm) au niveau du micron (0,001 mm), et certaines variétés ont atteint environ 0,05 μm. Pour la micro-découpe et le meulage de machines-outils CNC d'ultra-précision, la précision peut être stable d'environ 0,05 μm et la précision de forme peut atteindre environ 0,01 μm. La précision d'un traitement spécial utilisant la lumière, l'électricité, les produits chimiques et d'autres sources d'énergie peut atteindre le niveau nanométrique (0,001 μm). Grâce à l'optimisation de la conception de la structure de la machine-outil, à l'ultra-finition et à l'assemblage de précision des pièces de la machine-outil, à l'utilisation d'une technologie de contrôle en boucle fermée-complète-de haute-précision et de compensation d'erreurs dynamiques telles que la température et les vibrations, la précision géométrique du traitement de la machine-outil est améliorée et l'erreur de forme et de position, la rugosité de la surface, etc. sont réduites. , afin d'entrer dans l'ère de l'ultra-finition à l'échelle sub-micronique et nano-.
